| Найдено документов - 1 | Источник: Якухина, А. В. (Автор МИЭТ, НПК ТЦ; Yakuhina, A. V.). Сравнение влияния технологических факторов на добротность мезаструктур оптических резонаторов, изготовленных по кремниевой технологии / А. В.... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
ФОТОНИКА. 1. - Москва : Техносфера, 2022. - Текст : электронный.