Найдено документов - 1 | Статьи из номера журнала: ПОВЕРХНОСТЬ. РЕНТГЕНОВСКИЕ, СИНХРОТРОННЫЕ И НЕЙТРОННЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ. 9. - Москва : ИКЦ Академкнига, 2018. - Текст : электронный. | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Статья из журнала
Модификация Si, имплантированного Zn, путем облучения быстрыми ионами Xe / В. В. Привезенцев, В. А. Скуратов, В. С. Куликаускас [и др.]. - Текст : электронный
// ПОВЕРХНОСТЬ. РЕНТГЕНОВСКИЕ, СИНХРОТРОННЫЕ И НЕЙТРОННЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ. - Москва : ИКЦ Академкнига, 2018. - № 9. - С. 67-72. - URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=35445766 (дата обращения: 04.12.2018).
// ПОВЕРХНОСТЬ. РЕНТГЕНОВСКИЕ, СИНХРОТРОННЫЕ И НЕЙТРОННЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ. - Москва : ИКЦ Академкнига, 2018. - № 9. - С. 67-72. - URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=35445766 (дата обращения: 04.12.2018).
Авторы: Привезенцев, В. В., Скуратов, В. А., Куликаускас, В. С., Макунин, А. В., Ксенич, С. В., Штейнман, Э. А., Терещенко, А. Н., Горячев, А. В.
Ключевые слова: Кремний, Имплантация, Цинк, Микроанализ, Облучение ионами, Микроскопия, Масс-спектрометрия, Фотолюминесценция, Дефекты
Аннотация: Подложки монокристаллического кремния n-типа были имплантированы ионами 64Zn+ с энергией 50 кэВ, доза 5 × 1016 см–2. Далее образцы облучали при комнатной температуре ионами 132Xe26+ с энергией 167 МэВ в диапазоне флуенсов от 1 × 1012 до 5 × 1014 см–2. Изменения структуры и свойств на поверхности и в объеме образца исследовали методами растровой электронной микроскопии, энергодисперсионного микроанализа, атомно-силовой микроскопии, времяпролетной вторично ионной масс-спектрометрия и фотолюминесценции
Для просмотра необходимо войти в личный кабинет