Найдено документов - 1 | Статьи из номера журнала: ПОВЕРХНОСТЬ. РЕНТГЕНОВСКИЕ, СИНХРОТРОННЫЕ И НЕЙТРОННЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ. 10. - Москва : ИКЦ Академкнига, 2018. - Текст : электронный. | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Статья из журнала
Салащенко, Н. Н.
Безмасочная рентгеновская литография на основе МОЭМС и микрофокусных рентгеновских трубок / Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, Н. А. Дюжев. - Текст : электронный
// ПОВЕРХНОСТЬ. РЕНТГЕНОВСКИЕ, СИНХРОТРОННЫЕ И НЕЙТРОННЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ. - Москва : ИКЦ Академкнига, 2018. - № 10. - С. 10-20. - URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=36371773 (дата обращения: 03.12.2018).
Безмасочная рентгеновская литография на основе МОЭМС и микрофокусных рентгеновских трубок / Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, Н. А. Дюжев. - Текст : электронный
// ПОВЕРХНОСТЬ. РЕНТГЕНОВСКИЕ, СИНХРОТРОННЫЕ И НЕЙТРОННЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ. - Москва : ИКЦ Академкнига, 2018. - № 10. - С. 10-20. - URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=36371773 (дата обращения: 03.12.2018).
Авторы: Салащенко, Н. Н., Чхало, Н. И., Дюжев, Н. А.
Ключевые слова: МОЭМС, Литография, Лазерная плазма, Нанокоды, Рентгеновская оптика, Зеркала
Аннотация: Обсуждаются основные преимущества и проблемы безмасочной рентгеновской литографии. Рассматриваются две концепции литографии - использование в качестве динамической маски чипа микрооптической электромеханической системы микрозеркал и чипа микрофокусных рентгеновских трубок с “прострельной” тонкопленочной мишенью. Каждая может занять свою нишу как в области исследований, так и в серийном производстве микросхем. Впервые приводится описание проекта установки безмасочной рентгеновской литографии, демонстратора технологий, основанного на концепции микрооптической электромеханической системы, разрабатываемого в Институте физики микроструктур РАН
Для просмотра необходимо войти в личный кабинет