Румянцев, А. В. (Автор МИЭТ, НИЛ ЭМ).
Исследование аморфизации кремния ионами галлия на основе сопоставления расчетных и экспериментальных электронно-микроскопических изображений / А. В. Румянцев, А. С. Приходько, Н. И. Боргардт. - Текст : электронный
// ПОВЕРХНОСТЬ. РЕНТГЕНОВСКИЕ, СИНХРОТРОННЫЕ И НЕЙТРОННЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ. - Москва : ИКЦ Академкнига, 2020. - № 9. - С. 103-108. - URL: https://eivis.ru/browse/article/61434188/viewer?udb=12 (дата обращения: 18.06.2025). - Режим доступа: подписка МИЭТ.

Аннотация: Для изучения особенностей атомарного строения кристаллического кремния после проведения ионной бомбардировки ионами галлия с энергией 5 кэВ проведены экспериментальные исследования образца поперечного сечения облученной области методом просвечивающей электронной микроскопии. Для интерпретации наблюдаемого контраста выполнено атомистическое моделирование процесса ионной имплантации методом молекулярной динамики и рассчитаны светлопольные электронно-микроскопические изображения, которые находятся в хорошем соответствии с экспериментально полученными микрофотографиями. Для идентификации структуры материала в переходной области между кристаллом и аморфным слоем использовался модуль суммы векторов, направленных от рассматриваемого атома к его ближайшим соседям. Показано, что его изменения, усредненные по большому числу атомов, непосредственно связаны с вариациями контраста на микрофотографиях