| Найдено документов - 1 | Статьи из номера журнала: ФОТОНИКА. 1. - Москва : Техносфера, 2022. - Текст : электронный. | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Статья из журнала
Якухина, А. В. (Автор МИЭТ, НПК ТЦ; Yakuhina, A. V.).
Сравнение влияния технологических факторов на добротность мезаструктур оптических резонаторов, изготовленных по кремниевой технологии / А. В. Якухина, В. В. Светухин, А. С. Кадочкин. - Текст : электронный
// ФОТОНИКА. - Москва : Техносфера, 2022. - № 1. - С. 10-21. - URL: https://www.photonics.su/journal/article/9213 (дата обращения: 13.04.2023). - Режим доступа: свободный.
Сравнение влияния технологических факторов на добротность мезаструктур оптических резонаторов, изготовленных по кремниевой технологии / А. В. Якухина, В. В. Светухин, А. С. Кадочкин. - Текст : электронный
// ФОТОНИКА. - Москва : Техносфера, 2022. - № 1. - С. 10-21. - URL: https://www.photonics.su/journal/article/9213 (дата обращения: 13.04.2023). - Режим доступа: свободный.
Авторы: Якухина, А. В., Светухин, В. В., Кадочкин, А. С.
Ключевые слова: Интегральная оптика, Моды шепчущей галереи, Фотоника, SiO2, Si, Кремниевые технологии, Оптические потери, Добротность, Шероховатость, Integrated optics, Whispering gallery modes, Photonics, Silicon technology, Optical loss, Quality factor, Roughness
Аннотация: Представлены результаты исследования влияния величины шероховатости поверхности световодного слоя на величину добротности мезаструктур оптических резонаторов, работающих в режиме мод шепчущей галереи (МШГ), изготовленных с использованием кремниевой технологии. В качестве материала световодного слоя исследованы два варианта: SiO2 и Si. Проведено исследование влияния величины шероховатости боковой поверхности световодного слоя на величину добротности для каждого варианта структуры. Величина шероховатости боковой поверхности световодного слоя исследовалась при помощи АСМ и РЭМ. Для мезаструктур оптических резонаторов со световодным слоем как из Si, так и из SiO2 в результате оптимизации базовых технологических процессов удалось достичь снижения величины шероховатости с 30-40 нм до 1-3 нм. Проведенная путем численного моделирования оценка показала, что добротность оптических резонаторов со световодным слоем из SiO2 может быть достигнута 109 за счет снижения шероховатости боковой поверхности световодного слоя
Для просмотра необходимо войти в личный кабинет