МегаПро

Сортировать по:

1. Статья из журнала

Исследование аморфизации кремния ионами ксенона с использованием просвечивающей электронной микроскопии и моделирования методом Монте-Карло / О. В. Подорожний, А. В. Румянцев, Н. И. Боргардт [и др.]. - Текст : электронный
// ПОВЕРХНОСТЬ. РЕНТГЕНОВСКИЕ, СИНХРОТРОННЫЕ И НЕЙТРОННЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ. - Москва : ИКЦ Академкнига, 2025. - № 3. - С. 45-50. - URL: https://eivis.ru/browse/article/106117013/viewer?udb=12 (дата обращения: 16.07.2025). - Режим доступа: подписка МИЭТ.

Авторы: Подорожний, О. В., Румянцев, А. В., Боргардт, Н. И., Миннебаев, Д. К., Иешкин, А. Е.

Ключевые слова: Ионная имплантация, Просвечивающая электронная микроскопия, Эфектообразование, Аморфизация, Моделирование взаимодействия ионов с веществом, Метод Монте-Карло, Ion implantation, Transmission electron microscopy, Defect formation, Amorphization, Simulation of ion-solid interaction, Monte Carlo technique

Аннотация: Для аморфизации монокристаллической кремниевой подложки использованы ионы ксенона с энергией 5 и 8 кэВ. Образцы поперечного сечения облученных областей исследованы методом просвечивающей электронной микроскопии в режиме светлого поля и на основе анализа полученных изображений определены толщины аморфизированных слоев. Моделирование процесса ионной бомбардировки выполнено методом Монте-Карло, которое с использованием модели критической плотности дефектов позволило получить теоретические оценки толщин этих слоев. Результаты вычислений сравнивали с экспериментальными данными. Показано, что моделирование методом Монте-Карло с приемлемой точностью описывает процесс аморфизации монокристаллического кремния ускоренными ионами ксенона низких энергий

Источник

Формат MARC21

Для просмотра необходимо войти в личный кабинет

Копирование биб.описания в буфер обмена