| Найдено документов - 1 | Статьи из номера журнала: ФОТОНИКА. 7. - Москва : Техносфера, 2024. - Текст : электронный. | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Статья из журнала
Исследование спектра поглощения поверхностно-модифицированного кремния в диапазоне длин волн от 2,5 до 25 мкм / Д. В. Горелов, Н. М. Сомов, И. В. Потапенко [и др.]. - Текст : электронный
// ФОТОНИКА. - Москва : Техносфера, 2024. - № 7. - С. 536-538. - URL: https://www.photonics.su/journal/article/10701 (дата обращения: 17.07.2025). - URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=75993817 (дата обращения: 17.07.2025).
// ФОТОНИКА. - Москва : Техносфера, 2024. - № 7. - С. 536-538. - URL: https://www.photonics.su/journal/article/10701 (дата обращения: 17.07.2025). - URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=75993817 (дата обращения: 17.07.2025).
Авторы: Горелов, Д. В., Сомов, Н. М., Потапенко, И. В., Новиков, Д. В., Амеличев, В. В.
Ключевые слова: Модификация поверхности кремния, Плазмохимическое травление, Оптическое поглощение, ИК-диапазон, SILICON SURFACE MODIFICATION, PLASMA-CHEMICAL ETCHING, OPTICAL ABSORPTION, IR RANGE
Аннотация: Представлены результаты отработки технологии формирования модифицированных поглощающих поверхностей кремния, позволяющей улучшить спектральные характеристики приборов, создаваемых на его основе: устройств радиационного охлаждения, источников и датчиков ИК-излучения
Ссылка на ресурс: https://www.photonics.su/journal/article/10701
Ссылка на ресурс: https://elibrary.ru/item.asp?id=75993817