| Поле | Название | Значение |
| |
Тип записи |
a |
| |
Библиографический уровень |
m |
| 001 |
Контрольный номер |
8baf73a473d54ddf919de2fc33e36532 |
| 005 |
Дата корректировки |
20250328112536.2 |
| 090 |
Шифры |
__ |
| f |
Сигла хранения (DOS) |
2дсп |
| 100 |
Автор |
1_ |
| a |
Автор |
Тимаков, А. В. |
| c |
Титул (звания) |
Автор МИЭТ |
| 245 |
Заглавие |
00 |
| a |
Заглавие |
Физико-технологические решения создания межсоединений металлизации высокотемпературных кремниевых ИС на основе сплавов вольфрама: специальность 2.2.2. - Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств |
| b |
Продолж. заглавия |
автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук |
| c |
Ответственность |
Национальный исследовательский университет "МИЭТ"; научный руководитель Шевяков В. И. |
| 260 |
Выходные данные |
__ |
| a |
Место издания |
Москва |
| c |
Дата издания |
2024 |
| 300 |
Физическое описание |
__ |
| a |
Объем |
22 с. |
| 336 |
Вид содержания |
__ |
| a |
Термин вида содержания |
Текст |
| 337 |
Средство доступа |
__ |
| a |
Термин типа средства |
непосредственный |
| a |
Термин типа средства |
электронный |
| 504 |
Библиография |
__ |
| a |
Библиография |
Библиогр.: с. 20-22 |
| 653 |
Ключевые слова |
1_ |
| a |
Ключевые слова |
Диссертация; 2.2.2.; Межсоединения металлизаций; Высокотемпературные кремниевые ИС; Сплавы вольфрама |
| 700 |
Другие авторы |
12 |
| a |
Другие авторы |
Шевяков, В. И. |
| c |
Титул (звание) |
Автор МИЭТ, Ин-т ИнЭл |
| e |
Роль лиц |
науч. рук. |
| 856 |
Электронный адрес документа |
40 |
| x |
Служебное примечание |
Автореф ЭР |
| 900 |
Электронные ресурсы |
__ |
| a |
Имя электронного ресурса |
72665 |
| 901 |
Тип документа |
__ |
| t |
Тип документа |
r |
| 952 |
Тип литературы |
__ |
| a |
Тип литературы для КСУ ВШ |
Н |
| c |
Вид литературы |
монография |