| Найдено документов - 1 | Источник: Влияние твердофазной рекристаллизации с двойной имплантацией на плотность структурных дефектов в ультратонких слоях кремния на сапфире / С. Д. Федотов, В. Н. Стаценко, Н. Н. Егоров, С. А. Голубк... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
| ФИЗИКА ТВЕРДОГО ТЕЛА. 12. - Санкт-Петербург : Наука, 2019. - Текст : электронный. | |
| Поиск: | Статьи из номера журнала (сборника) Источник |