| Найдено документов - 1 | Источник: Нелюбин, И. В. (Автор МИЭТ (аспирант)). Особенности контроля трехмерного профиля элементов и структур наноразмерных ИС. Обзор / И. В. Нелюбин, М. Г. Путря. - Текст : электронный : непосредственны... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. ЭЛЕКТРОНИКА. 3. - Москва : МИЭТ, 2023. - URL: https://elib.miet.ru (дата обращения: 30.06.2023). - Режим доступа: для зарегистрированных читателей библиотеки МИЭТ. - Текст : электронный : непосредственный.
Экземпляры: Всего: 1, из них: чз(Архив)-1
Для просмотра необходимо войти в личный кабинет