| Найдено документов - 1 | Источник: Горностаев, П. А. (Gornostaev, P. A.). Исследования однородности температуры подложки в установке вакуумно-плазменного травления / П. А. Горностаев, В. М. Менагаришвили, Р. В. Кубраков. - Текст :... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. ЭЛЕКТРОНИКА. 2. - Москва : МИЭТ, 2025. - URL: https://elib.miet.ru (дата обращения: 07.05.2025). - Режим доступа: для зарегистрированных читателей библиотеки МИЭТ. - Текст : электронный : непосредственный.
Экземпляры: Всего: 1, из них: чз(Архив)-1
Для просмотра необходимо войти в личный кабинет