| Найдено документов - 1 | Источник: Применение иммерсионных жидкостей в электростатических актюаторах оптических МЭМС-переключателей / С. В. Никифоров, С. С. Генералов, Д. В. Горелов [и др.]. - Текст : электронный : непосредствен... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
| НАНОИНДУСТРИЯ. Т. 18, № 12S. Спецвыпуск. - Москва : Техносфера, 2025. - Текст : электронный : непосредственный. | |
| Экземпляры: | Всего: 1, из них: чз(Архив)-1 |
| Поиск: | Статьи из номера журнала (сборника) Источник |