| Найдено документов - 1 | Статьи из номера журнала: ПРИБОРЫ И СИСТЕМЫ. УПРАВЛЕНИЕ, КОНТРОЛЬ, ДИАГНОСТИКА. 2. - Москва : Научтехлитиздат, 2007. - Текст : электронный. | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Статья из журнала
| Влияние технологических процессов на геометрические параметры изготавливаемых элементов МЭМС / С. П. Тимошенков, В. Г. Рубчиц, С. А. Зотов [и др.]. - Текст : электронный // ПРИБОРЫ И СИСТЕМЫ. УПРАВЛЕНИЕ, КОНТРОЛЬ, ДИАГНОСТИКА. - Москва : Научтехлитиздат, 2007. - № 2. - С. 60-63. - URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=12600315 (дата обращения: 29.07.2025). | |
| Авторы: | Тимошенков, С. П., Рубчиц, В. Г., Зотов, С. А., Калугин, В. В., Прокопьев, Е. П. |
| Ключевые слова: | Приборы, Системы, Диагностика, Измерения, Контроль |
| Аннотация: | Рассмотрен способ изготовления трехмерных структур микроэлектромеханических систем (МЭМС) в объеме кремниевой подложки с использованием жидкостного анизотропного травления кремния. Дана оценка критериев допустимых технологических погрешностей изготовления трехмерных структур для соответствующей модернизации существующих типовых ТП |
| Поиск: | Источник |
| Ссылка на ресурс: | https://elibrary.ru/item.asp?id=12600315 |