| Найдено документов - 1 | Статьи из номера журнала: ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ. 12. - Санкт-Петербург : ФТИ им. А.Ф. Иоффе, 2024. - Текст : электронный. | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Статья из журнала
| Флуктуационный анализ микрорельефа поверхности структур кремний-на-изоляторе после радиационного воздействия / А. С. Пузанов, И. Ю. Забавичев, Н. Д. Абросимова [и др.]. - Текст : электронный // ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ. - Санкт-Петербург : ФТИ им. А.Ф. Иоффе, 2024. - № 12. - С. 668-675. - URL: https://journals.ioffe.ru/articles/59827 (дата обращения: 14.08.2025). - Режим доступа: свободный. | |
| Авторы: | Пузанов, А. С., Забавичев, И. Ю., Абросимова, Н. Д., Бибикова, В. В., Волкова, Е. В., Недошивина, А. Д., Потехин, А. А., Тарасова, Е. А., Хазанова, С. В., Логинов, Б. А., Блинников, Д. Ю., Второва, В. С., Кириллова, В. В., Ляшко, Е. А., Макеев, В. С., Первых, А. Р., Оболенский, С. В. |
| Ключевые слова: | Кремний-на-изоляторе, Микрошероховатость, Подвижность носителей заряда, Флуктуационный анализ, Фрактальная размерность |
| Аннотация: | При помощи метода двумерного флуктуационного анализа проведена обработка изображений поверхности структур кремний-на-изоляторе. Установлено, что параметр Херста необлученной поверхности составляет H0=0.93, облученной γ-квантами Hγ=0.71-0.87, облученной нейтронами Hn=0.91-0.94, что указывает на нестепенные корреляции функции высоты и процессы типа случайного блуждания для всех исследованных образцов. Рассмотрено влияние радиации на изменение среднеквадратичного отклонения и корреляционной длины микрошероховатости поверхности образцов на микроуровне и деградации подвижности носителей заряда на макроуровне |
| Поиск: | Источник |
| Электронный документ | Для просмотра необходимо войти в личный кабинет |