| Найдено документов - 1 | Статьи из номера журнала: ПРИБОРЫ И СИСТЕМЫ. УПРАВЛЕНИЕ, КОНТРОЛЬ, ДИАГНОСТИКА. 7. - Москва : Научтехлитиздат, 2025. - Текст : электронный. | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Статья из журнала
| Оценка устойчивости информационно-управляющей системы на основе параметров предиктивной модели переходного процесса / Ю. С. Шевнина, Л. Г. Гагарина, А. А. Винокуров, П. М. Хвостик. - Текст : электронный // ПРИБОРЫ И СИСТЕМЫ. УПРАВЛЕНИЕ, КОНТРОЛЬ, ДИАГНОСТИКА. - Москва : Научтехлитиздат, 2025. - № 7. - С. 32-39. - URL: http://pribor.tgizd.ru/ru/arhiv/23707 (дата обращения: 15.09.2025). - URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=82705495 (дата обращения: 15.09.2025). | |
| Авторы: | Шевнина, Ю. С., Гагарина, Л. Г., Винокуров, А. А., Хвостик, П. М. |
| Ключевые слова: | Устойчивость информационно-управляющих систем, Переходные процессы, Управление температурным режимом, Предиктивные модели, Интегральная оценка, Передаточная функция, STABILITY OF INFORMATION AND CONTROL SYSTEM, TRANSIENT PROCESS, TEMPERATURE CONTROL, PREDICTIVE MODEL, INTEGRAL ASSESSMENT, TRANSFER FUNCTION |
| Аннотация: | В статье представлен подход к оценке устойчивости информационно-управляющей системы на основе параметров предиктивной модели переходного процесса. В качестве примера рассмотрена система управления температурным режимом в процессе химического осаждения из газовой фазы при производстве полупроводниковых пластин. Предложена предиктивная модель переходного процесса. Определены основные параметры предиктивной модели и особенности информационно-управляющей системы температурным режимом в микроэлектронном производстве. Оценка устойчивости информационно-управляющей системы производится на основе функционала интегральной оценки непрерывной системы управления с переходным процессом. Приводятся примеры для различных типов предиктивных моделей переходных процессов |
| Поиск: | Источник |
| Ссылка на ресурс: | https://elibrary.ru/item.asp?id=82705495 |