Сортировать по:
1. Статья из журнала
Фотоиндуцированная кристаллизация аморфных пленок GeTe и Sb2Te3 лазерными пучками различной структуры / Я. С. Лебедева, П. А. Смирнов, И. А. Будаговский [и др.]. - Текст : электронный
// КВАНТОВАЯ ЭЛЕКТРОНИКА. - Москва : Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН, 2025. - № 12. - С. 782-790. - URL: https://www.mathnet.ru/rus/qe18664 (дата обращения: 02.09.2026).
Авторы:Лебедева, Я. С., Смирнов, П. А., Будаговский, И. А., Ромашкин, А. В., Никитин, К. Г., Сагунова, И. В., Пестова, В. Б., Шерченков, А. А., Лазаренко, П. И., Смаев, М. П.
Ключевые слова:Фазопеременные материалы, Лазерная кристаллизация, Оптическая микроскопия, Спектроскопия комбинационного рассеяния, GeTe, Sb2Te3, Эрмит-Гауссовы пучки, Векторные пучки, PHASE-CHANGE MATERIALS, LASER CRYSTALLIZATION, OPTICAL MICROSCOPY, RAMAN SPECTROSCOPY, HERMITE-GAUSSIAN BEAMS, VECTOR BEAMS
Аннотация:Фазопеременные материалы активно используются в области нанотехнологий и микроэлектроники благодаря способности обратимо переключаться между аморфным и кристаллическим состояниями, изменяя при этом свои электрические и оптические свойства. Тройное соединение Ge2Sb2Te5, наиболее изученное и широко применяемое среди фазопеременных материалов, состоит из двух бинарных теллуридов – GeTe и Sb2Te3, каждый из которых является перспективным фазопеременным соединением. Нами рассмотрена модификация тонких аморфных пленок GeTe и Sb2Te3 непрерывными лазерными пучками различной структуры: эрмит-гауссовыми модами HGSb00 и HGSb01, векторными пучками, оптическим вихрем. Анализ облученных областей проводился на основе оценок яркости оптических изображений и спектроскопии комбинационного рассеяния, которые позволили сделать вывод о перспективности пучков с кольцевым профилем интенсивности для создания оптимального профиля нагрева и достижения более однородной кристаллизации в сравнении с HG00. Для всех типов пучков индуцированные лазером структурные изменения, проявившиеся в существенном изменении спектров комбинационного рассеяния, сопровождались заметным изменением оптического контраста (отражательной способности) для теллурида германия и много меньшим – для теллурида сурьмы
Поиск:Источник
Ссылка на ресурс:https://www.mathnet.ru/rus/qe18664