| Найдено документов - 1 | Статьи из номера журнала: ЖУРНАЛ РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ. 6. - Москва : ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН, 2025. - Текст : электронный. | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Статья из журнала
| Влияние состава газовой смеси Ar и CO2 при напылении пленок (Ba,Sr,Ca)CO3 на шероховатость поверхности и эмиссионные свойства / Г. А. Жабин, Б. А. Логинов, А. Б. Логинов, К. В. Шичалин. - Текст : электронный // ЖУРНАЛ РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ. - Москва : ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН, 2025. - № 6. - Ст. 9. - URL: http://jre.cplire.ru/jre/jun25/index.html (дата обращения: 25.08.2026). - Режим доступа: свободный. | |
| Авторы: | Жабин, Г. А., Логинов, Б. А., Логинов, А. Б., Шичалин, К. В. |
| Ключевые слова: | Ионно-плазменное напыление, Сканирующая зондовая микроскопия, Морфология поверхности, Эмиссионные характеристики, Молекулярно-напыленный оксидный микрокатод, Срок службы |
| Аннотация: | В работе исследовано влияние состава газовой смеси Ar+CO2 на изменение химического состава и морфологии эмиссионных покрытий, осажденных с применением ионно-плазменного метода при температуре подложкодержателя 150-208 ºС. С применением сканирующей зондовой микроскопии исследованы размер зерна и шероховатость поверхности пленки. Химический состав напыленных пленок (Ba,Sr,Ca)CO3 исследован с использованием энергодисперсионного рентгеновского анализа. При увеличении в газовой смеси концентрации диоксида углерода зерна пленки укрупняются до 1980 нм и удлиняются, обнаруживая внутреннюю стержневую наноструктуру со средним поперечным размером нанозерен до 181 нм. Показано влияние состава газа на процесс осаждения и эмиссионные свойства молекулярно-напыленных оксидных микрокатодов |
| Поиск: | Источник |
| Электронный документ | Для просмотра необходимо войти в личный кабинет |