| Найдено документов - 1 | Источник: Специфика перехода к технологии "28 НМ" в части разработки фотошаблонов для проекционной фотолитографии / Н. Н. Балан, В. В. Иванов, А. В. Кузовков [и др.]. - Текст : электронный // ЭЛЕКТРОННАЯ ... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
| ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА. Серия 3. МИКРОЭЛЕКТРОНИКА. 1(185). - Москва : НИИМЭ, 2022. - Текст : электронный. | |
| Поиск: | Статьи из номера журнала (сборника) Источник |