| Найдено документов - 1 | Статьи из номера журнала: НЕОРГАНИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ. 3. - Москва : Наука, 2015. - Текст : электронный. | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Статья из журнала
Исследование процессов электрохимического формирования контактных структур для сборки интегральных микросхем / В. М. Рощин, В. Л. Дшхунян, И. Н. Петухов [и др.]. - Текст : электронный
// НЕОРГАНИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ. - Москва : Наука, 2015. - № 3. - С. 344-348. - URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=22887528 (дата обращения: 20.02.2015).
// НЕОРГАНИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ. - Москва : Наука, 2015. - № 3. - С. 344-348. - URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=22887528 (дата обращения: 20.02.2015).
Авторы: Рощин, В. М., Дшхунян, В. Л., Петухов, И. Н., Сеньченко, К. С., Кухтяева, В. Р.
Ключевые слова: Неорганические материалы, Интегральные микросхемы, Электрохимическое осаждение олова
Аннотация: Рассмотрены процессы электрохимического осаждения олова для создания контактных элементов при сборке интегральных микросхем. Проведены исследования влияния органических добавок в сульфатные электролиты при формировании локальных вертикальных структур с подавлением бокового разрастания осаждаемого материала
Для просмотра необходимо войти в личный кабинет