| Найдено документов - 1 | Источник: Румянцев, А. В. (Автор МИЭТ, Ин-т ФПМ). Сравнение процессов распыления кремния и диоксида кремния фокусированным ионным пучком / А. В. Румянцев, Н. И. Боргардт. - Текст : электронный : непосредст... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
| ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. ЭЛЕКТРОНИКА. 1. - Москва : МИЭТ, 2024. - URL: https://elib.miet.ru (дата обращения: 17.10.2025). - Режим доступа: для зарегистрированных читателей библиотеки МИЭТ. - Текст : электронный : непосредственный. | |
| Экземпляры: | Всего: 1, из них: чз(Архив)-1 |
| Поиск: | Статьи из номера журнала (сборника) Источник |
| Электронный документ | Для просмотра необходимо войти в личный кабинет |