| Найдено документов - 1 | Источник: Шевяков, В. И. (Автор МИЭТ, Ин-т ИнЭл). Исследование влияния примеси рения на механические свойства тонких пленок вольфрама металлизации высокотемпературных кремневых ИС / В. И. Шевяков, А. В. Ти... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА. Серия 3. МИКРОЭЛЕКТРОНИКА. 4(192). - Москва : НИИМЭ, 2023. - Текст : непосредственный : электронный.