| Найдено документов - 1 | Источник: Щагин, А. В. (Автор МИЭТ, Ин-т МПСУ). Использование протоколов SECS/GEM в распределённых кластерных системах полупроводникового производства / А. В. Щагин, Д. Д. Быстров, Е. А. Свиридова. - Текст... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
| ЭЛЕКТРОННЫЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ СИСТЕМЫ. 2. - Москва : НТЦ ЭЛИНС, 2024. - Текст : электронный. | |
| Поиск: | Статьи из номера журнала (сборника) Источник |