| Найдено документов - 1 | Статьи из номера журнала: ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА. Серия 1. СВЧ-ТЕХНИКА. 3. - Москва : НПП Исток им. А.И. Шокина, 2025. - Текст : электронный. | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Статья из журнала
| Жабин, Г. А. (Zhabin, G. A.). Исследование шероховатости поверхности и эмиссионных свойств синтезированных покрытий (BASRCA)CO3 / Г. А. Жабин, А. Б. Логинов, Б. А. Логинов. - Текст : электронный // ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА. Серия 1. СВЧ-ТЕХНИКА. - Москва : НПП Исток им. А.И. Шокина, 2025. - № 3. - С. 89-96. - URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=82887245 (дата обращения: 16.10.2025). | |
| Авторы: | Жабин, Г. А., Логинов, А. Б., Логинов, Б. А. |
| Ключевые слова: | Ионно-плазменное напыление, Сканирующая зондовая микроскопия, Морфология поверхности, Эмиссионные характеристики, Долговечность, Молекулярно-напыленный оксидный катод, ION PLASMA SPUTTERING, SCANNING PROBE MICROSCOPY, SURFACE MORPHOLOGY, EMISSION CHARACTERISTICS, DURABILITY OF A MOLECULAR SPUTTER-DEPOSITED OXIDE CATHODE |
| Аннотация: | Экспериментально исследовано влияние состава газовой смеси Ar + CO2 на изменение химического состава и морфологии эмиссионных покрытий, осажденных с применением ионно-плазменного метода на подложки Si. С применением сканирующей зондовой микроскопии проведен анализ размера зерен и шероховатости поверхности пленки. Показано влияние изменения состава газа на размер субзерен и эмиссионные свойства молекулярно-напыленных оксидных катодов. Катоды, напыленные с составом газа Ar/CO2 в соотношении 45/55, со средней шероховатостью покрытия 77 нм и размером субзерен 181 нм показали долговечность более 4500 ч |
| Поиск: | Источник |
| Ссылка на ресурс: | https://www.elibrary.ru/item.asp?id=82887245 |