| Найдено документов - 1 | Источник: Деформирование мембраны МЭМС-преобразователя с нанесенным напряженным слоем / В. В. Амеличев, С. С. Генералов, И. В. Годовицын [и др.]. - Текст : электронный // МИКРОЭЛЕКТРОНИКА. - Москва : ИКЦ ... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
| МИКРОЭЛЕКТРОНИКА. 5. - Москва : ИКЦ Академкнига, 2025. - Текст : электронный. | |
| Поиск: | Статьи из номера журнала (сборника) Источник |