| Найдено документов - 1 | Статьи из номера журнала: ОПТИКА И СПЕКТРОСКОПИЯ. 9. - Санкт-Петербург : ФТИ им. А.Ф. Иоффе, 2025. - Текст : электронный. | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Статья из журнала
| Разработка технологии создания фотонных интегральных схем с кольцевыми микрорезонаторами на основе структур Si/SiO2/Si3N4 / А. И. Абанин, Р. М. Рязанов, А. Д. Голиков [и др.]. - Текст : электронный // ОПТИКА И СПЕКТРОСКОПИЯ. - Санкт-Петербург : ФТИ им. А.Ф. Иоффе, 2025. - № 9. - С. 957-962. - URL: http://journals.ioffe.ru/articles/61763 (дата обращения: 18.03.2026). - Режим доступа: свободный. | |
| Авторы: | Абанин, А. И., Рязанов, Р. М., Голиков, А. Д., Ковалюк, В. В., Венедиктов, И. О., Ан, А. Ф., Шимловская, Д. А., Кицюк, Е. П., Косолобов, С. С., Лазаренко, П. И., Гольцман, Г. Н., Светухин, В. В. |
| Ключевые слова: | Нитрид кремния, Кольцевые микрорезонаторы, LPCVD, Добротность |
| Аннотация: | Развитие современных систем обработки информации ограничивается быстродействием электронных схем. Реализация высокоскоростной обработки информации следующего поколения становится крайне сложной задачей при использовании традиционной электронной компонентной базы. Одним из вариантов решения данной проблемы является переход к созданию систем на основе фотонных интегральных схем. В работе представлены результаты изготовления высокодобротных кольцевых микрорезонаторов из нитрида кремния. Для изготовления оптических устройств использовались структуры Si/SiO2/Si3N4, сформированные с применением производственного оборудования НПК "Технологический центр". Исследованы зависимости оптических параметров структур от технологических режимов формирования нитрида кремния и применения дополнительного высокотемпературного отжига. Продемонстрированы образцы кольцевых резонаторов с добротностью >105 при радиусе кольца ~64 μm |
| Поиск: | Источник |
| Электронный документ | Для просмотра необходимо войти в личный кабинет |