| Найдено документов - 1 | Источник: Обоснование перечня маркерных загрязняющих веществ микроэлектронного производства / А. С. Рябышенков, В. И. Каракеян, Н. Р. Харламов, М. А. Чудакова. - Текст : электронный : непосредственный // ... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
| ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. ЭЛЕКТРОНИКА. 2. - Москва : МИЭТ, 2026. - URL: https://elib.miet.ru (дата обращения: 04.05.2026). - Режим доступа: для зарегистрированных читателей библиотеки МИЭТ. - Текст : электронный : непосредственный. | |
| Экземпляры: | Всего: 1, из них: чз(Архив)-1 |
| Поиск: | Статьи из номера журнала (сборника) Источник |
| Электронный документ | Для просмотра необходимо войти в личный кабинет |