| Найдено документов - 1 | Источник: Определение усилия прижима кремниевой подложки посредством электростатического крепежного устройства / В. В. Калугин, В. С. Трактирщиков, М. Е. Ширяев, И. А. Короткевич. - ISBN 978-5-7256-1081-9... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Книга
| Интеллектуальные системы и микросистемная техника : Научно-практическая конференция : Сборник трудов : Россия, Кабардино-Балкария, пос. Эльбрус. 30 января - 02 февраля 2026 г. / Министерство образования и науки РФ, Национальный исследовательский университет "МИЭТ". - Москва : МИЭТ, 2026. - 160 с. - ISBN 978-5-7256-1081-9 : 27-88, 45 экз. - Текст : непосредственный. | |
| Шифры: | 621.382 - И-73 |
| Пункты книговыдачи: | 1чз(Архив) |
| Ключевые слова: | Интеллектуальные системы, Микросистемная техника, Конференция 2026, МЭМС датчики, НТИ "Сенсорика" |
| Аннотация: | Сборник содержит статьи, посвященные вопросам разработки и изготовления МЭМС датчиков, создания микроэлектронных устройств и оборудования, использования новых материалов для микроэлектроники и микросистемной техники, особенности построения автоматизированных систем управления. Представлены результаты работы Центра НТИ "Сенсорика", Передовой инженерной школы "Средства проектирования и производства электронной компонентной базы" |
| Экземпляры: | Всего: 1, из них: чз(Архив)-1 |
| Поиск: | Статьи из cборника |