| Найдено документов - 1 | Статьи из номера журнала: НЕОРГАНИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ. 6. - Москва : Наука, 2011. - Текст : электронный. | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Статья из журнала
Определение показателей преломления и толщин гидрогенизированных слоев кремния методами ИК-спектроскопии / С. П. Тимошенков, В. П. Пелипас, Б. М. Симонов [и др.]. - Текст : электронный
// НЕОРГАНИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ. - Москва : Наука, 2011. - № 6. - С. 650-653. - URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=16455180 (дата обращения: 24.01.2023).
// НЕОРГАНИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ. - Москва : Наука, 2011. - № 6. - С. 650-653. - URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=16455180 (дата обращения: 24.01.2023).
Авторы: Тимошенков, С. П., Пелипас, В. П., Симонов, Б. М., Бритков, О. М., Калугин, В. В.
Ключевые слова: Неорганические материалы, ИК-спектроскопия, Определение показателей преломления
Аннотация: Методы ИК-спектроскопии, широко используемые для определения толщин и показателей преломления слоев и тонких пленок различных материалов, адаптированы применительно к нахождению этих величин для гидрогенизированных слоев кремния. В результате анализа литературных данных выбраны три формулы, позволяющие по спектрам отражения и пропускания определять показатели преломления и толщины этих слоев. Данные формулы применимы с учетом ограничений также для других образцов, в которых относительно прозрачные слои (пленки) находятся на прозрачных подложках. Приведены экспериментальные данные, иллюстрирующие использование этих формул
Ссылка на ресурс: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=16455180