Жигальский, Г. П. (Автор МИЭТ, ИЭМС).
Неразрушающий контроль качества интегральных микросхем по электрическим шумам и параметрам нелинейности / Г. П. Жигальский. - Текст : электронный
// РАДИОТЕХНИКА И ЭЛЕКТРОНИКА. - Москва : Наука, 2005. - № 5. - С. 517-551. - URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=9153074 (дата обращения: 12.09.2022).

Аннотация: Дан обзор различных видов электрических шумов в твердых телах применительно к металлическим пленкам, контактам и транзисторам субмикронных размеров. Описаны методы исследований неравновесных 1/f флуктуации проводимости пассивных двуполюсников, позволяющие выделить неравновесный фликкер-шум из полной мощности шума. Представлены результаты исследований нелинейности вольт-амперной характеристики (ВАХ) и фликкер-шума (равновесного и неравновесного) в тонких пленках проводящих материалов и различных видах контактных соединений. Дано физическое обоснование методов неразрушающе го контроля качества тонкопленочных проводников, омических контактов, микросварных контактных соединений (золотая проволока-контактная площадка из пленки меди), паяных соединений между контактами на кристалле и ответными контактами на полиимидном носителе в интегральных микросхемах (ИМС) с перевернутым кристаллом (flip chip IС), структур металл-диэлектрик-полупроводник, пленочных резисторов по флик-кер-шуму и параметрам нелинейности ВАХ. Показано, что для пассивных компонентов ИМС (тонкопленочные проводники, резистивные слои, контакты) уровень неравновесного фликкер-шума является наиболее информативным параметром их качества, по сравнению с равновесным флик-кер-шумом. Дано научное обоснование методам неразрушающего контроля качества по 1/fγ-шуму (γ- показатель формы спектра) и параметрам нелинейности ВАХ тестовых элементов ИМС. Представлены экспериментальные результаты по влиянию дефектов металлизации и омических контактов в комплементарных металл-окисел-полупроводник больших интегральных схемах на низкочастотные флуктуации тока потребления, дающие возможность осуществлять электрофлуктуаци-онную диагностику больших интегральных схем, содержащих сотни тысяч элементов, а также различных электронных устройств на их основе.