| Найдено документов - 1 | Статьи из номера журнала: МИКРОЭЛЕКТРОНИКА. 4. - Москва : Наука, 2017. - Текст : электронный. | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Статья из журнала
| Оптимизация омических контактов к n-слоям гетеробиполярных наногетероструктур на основе арсенида галлия / В. И. Егоркин, В. Е. Земляков, А. В. Неженцев, В. И. Гармаш. - Текст : электронный // МИКРОЭЛЕКТРОНИКА. - Москва : Наука, 2017. - № 4. - С. 295-300. - URL: https://www.elibrary.ru/item.asp?id=29660135 (дата обращения: 21.09.2018). | |
| Авторы: | Егоркин, В. И., Земляков, В. Е., Неженцев, А. В., Гармаш, В. И. |
| Ключевые слова: | Микроэлектроника, Наногетероструктуры, Арсенид галлия, Вжигание |
| Аннотация: | Исследованы омические контакты к n-слоям гетеробиполярных наногетероструктур на основе арсенида галлия, полученных методом послойного электронно-лучевого напыления Ge/Au/Ni/Au. Рассмотрена зависимость контактного сопротивления от времени и температуры вжигания. На основе анализа характеристик омических контактов предложена конструкция установки для вжигания и методика вжигания омических контактов, позволяющая получать минимальное контактное сопротивление при минимальном размере переходного слоя, удовлетворительной морфологии и ровном крае контактов |
| Поиск: | Источник |
| Электронный документ | Для просмотра необходимо войти в личный кабинет |