| Найдено документов - 1 | Статьи из номера журнала: НЕОРГАНИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ. 11. - Москва : Наука, 2016. - Текст : электронный. | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Статья из журнала
Тонкопленочные контактные слои MO/NI и NI/TA–W–N/NI для среднетемпературного термоэлемента на основе (BI, SB)2TE3 / Д. Г. Громов, Ю. И. Штерн, М. С. Рогачев [и др.]. - Текст : электронный
// НЕОРГАНИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ. - Москва : Наука, 2016. - № 11. - С. 1206-1210. - URL: https://eivis.ru/browse/article/48588016/viewer?udb=12 (дата обращения: 05.06.2025). - Режим доступа: подписка МИЭТ.
// НЕОРГАНИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ. - Москва : Наука, 2016. - № 11. - С. 1206-1210. - URL: https://eivis.ru/browse/article/48588016/viewer?udb=12 (дата обращения: 05.06.2025). - Режим доступа: подписка МИЭТ.
Авторы: Громов, Д. Г., Штерн, Ю. И., Рогачев, М. С., Шулятьев, А. С., Кириленко, Е. П., Штерн, М. Ю., Федоров, В. А., Михайлова, М. С.
Ключевые слова: Физика, Тонкопленочные слои, Термоэлементы, Ионно-плазменное распыление, Адгезия
Аннотация: Исследована возможность применения тонкопленочных контактных слоев для формирования надежного омического контакта к разработанным среднетемпературным термоэлектрическим материалам на основе (Bi, Sb)2Te3 с улучшенными термоэлектрическими свойствами, позволяющими расширить рабочий диапазон температур до 600 K. Методом магнетронного ионно-плазменного распыления получены три варианта контактов: однослойный Ni; двухслойный Mo/Ni и трехслойный Ni/Ta-W-N/Ni. Установлено, что надежный контакт достигается при использовании слоев Mo/Ni и Ni/Ta–W–N/Ni, которые предотвращают взаимную диффузию соединяемых материалов и обеспечивают высокую адгезию к термоэлементу
Для просмотра необходимо войти в личный кабинет