| Найдено документов - 1 | Статьи из номера журнала: ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. 10. - Санкт-Петербург : Наука, 2020. - Текст : электронный. | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Статья из журнала
| Физико-технологические особенности процесса установки кристаллов на временный носитель в технологии внутреннего монтажа / Д. В. Вертянов, Н. Е. Коробова, А. В. Погудкин, В. Д Кравцова. - Текст : электронный // ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. - Санкт-Петербург : Наука, 2020. - № 10. - С. 1750-1757. - URL: http://journals.ioffe.ru/articles/49809 (дата обращения: 25.01.2023). - Режим доступа: свободный. | |
| Авторы: | Вертянов, Д. В., Коробова, Н. Е., Погудкин, А. В., Кравцова, В. Д |
| Ключевые слова: | Технологии, Внутренний монтаж, Полиимиды, Дефекты, Модули |
| Аннотация: | Изучены физико-технологические особенности установки кристаллов на временный носитель в технологии внутреннего монтажа. Проведен обоснованный выбор материала из различных растворов полиамидокислот (ПАК) для фиксации кремниевых кристаллов активной стороной вниз на временный носитель. Установлена экспериментальная зависимость адгезионной прочности кремниевых кристаллов от времени жизни растворов ПАК. Показаны возможные дефекты, образующиеся при имидизации ПАК в процессе создания высокоинтегрированных микросборок, многокристальных модулей и электронных модулей уровня "система в корпусе" |
| Поиск: | Источник |
| Электронный документ | Для просмотра необходимо войти в личный кабинет |