| Найдено документов - 4 | Статьи из номера журнала: ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. 11. - Санкт-Петербург : Наука, 2020. - Текст : электронный. | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Статья из журнала
| Экспериментальное определение механических свойств анодного элемента рентгеновского литографа / Н. А. Дюжев, Е. Э. Гусев, А. А. Дедкова [и др.]. - Текст : электронный // ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. - Санкт-Петербург : Наука, 2020. - № 11. - С. 1838-1842. - URL: http://journals.ioffe.ru/articles/49971 (дата обращения: 25.01.2023). - Режим доступа: свободный. | |
| Авторы: | Дюжев, Н. А., Гусев, Е. Э., Дедкова, А. А., Товарнов, Д. А., Махиборода, М. А. |
| Ключевые слова: | Механическая прочность, Мембраны, Тонкие пленки, Поликристаллический кремний, Оксид кремния, Нитрид кремния |
| Аннотация: | Изготовлен анодный элемент рентгеновского литографа в виде мембранной структуры PolySi/Si3N4/SiO2 по групповой технологии. Модернизирована конструкция стенда для определения механических свойств мембран. Критическое давление мембранной структуры диаметром 250 μm изменялось в диапазоне от 0.484 до 0.56 MPa для 15 образцов. Механическая прочность структуры PolySi*/Si3N4/SiO2 составила 3.13 GPa. Новая модель в пакете Comsol показала хорошую корреляцию между экспериментальным критическим давлением и теоретической механической прочностью мембраны. Представлено распределение механических напряжений по мембране посредством моделирования и аналитического расчета. Доказано, что область разрыва структуры локализована на границе мембрана/подложка |
| Поиск: | Источник |
| Электронный документ | Для просмотра необходимо войти в личный кабинет |
2. Статья из журнала
| Оптимизация анодной мембраны с прострельной мишенью в системе источников мягкого рентгеновского излучения для проведения процессов рентгеновской нанолитографии / П. Ю. Глаголев, Г. Д. Демин, Г. И. Орешкин [и др.]. - Текст : электронный // ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. - Санкт-Петербург : Наука, 2020. - № 11. - С. 1789-1796. - URL: http://journals.ioffe.ru/articles/49964 (дата обращения: 25.01.2023). - Режим доступа: свободный. | |
| Авторы: | Глаголев, П. Ю., Демин, Г. Д., Орешкин, Г. И., Чхало, Н. И., Дюжев, Н. А. |
| Ключевые слова: | Рентгеновская нанолитография, Микрофокусные рентгеновские трубки, Прострельные мишени, Матрицы анодных узлов, Электростатические деформации |
| Аннотация: | Предложен способ оптимизации конструкции и состава анодной мембраны с прострельной мишенью в системе источников мягкого рентгеновского излучения на основе автоэмиссионных триодов, предназначенной для реализации задач в области рентгеновской нанолитографии. Данный способ позволяет предотвратить деградацию рабочих характеристик системы в случае возникновения сильной электростатической деформации анода под действием управляющего электрического поля в межэлектродном пространстве триодов. Для этой цели рассмотрено введение в конструкцию системы дополнительного управляющего электрода, позволяющего компенсировать деформацию анодной мембраны до приемлемого уровня и тем самым стабилизировать работу рентгеновских источников. Построена численная модель электростатического прогиба анодного узла в модифицированной конструкции, на основе которой определены оптимальный состав и геометрические параметры анодной мембраны с компенсирующим электродом. В частности, найдено оптимальное расстояние между анодной мембраной в начальном (недеформированном) состоянии и компенсирующим электродом (равное 5 μm), при котором к данным электродам следует приложить минимальную разницу напряжений (около 1.15 kV) для предотвращения критического прогиба мембраны (0.72 μm при радиусе мембраны 750 μm). Так же показано, что, в силу своей предельно высокой жесткости (>80 GPa), алмазоподобные пленки являются наиболее перспективным материалом для анодного электрода. Полученные результаты также могут быть полезны для разработки миниатюрных устройств генерации рентгеновского излучения для различных применений |
| Поиск: | Источник |
| Электронный документ | Для просмотра необходимо войти в личный кабинет |
3. Статья из журнала
| Зондовая микроскопия и электронно-транспортные свойства тонких эпитаксиальных пленок Mo на сапфире / Л. А. Фомин, И. В. Маликов, В. А. Березин [и др.]. - Текст : электронный // ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. - Санкт-Петербург : Наука, 2020. - № 11. - С. 1830-1837. - URL: http://journals.ioffe.ru/articles/49970 (дата обращения: 25.01.2023). - Режим доступа: свободный. | |
| Авторы: | Фомин, Л. А., Маликов, И. В., Березин, В. А., Черных, А. В., Логинов, А. Б., Логинов, Б. А. |
| Ключевые слова: | Эпитаксиальные пленки, Тугоплавкие металлы, Межсоединения, Шероховатые поверхности, Атомно-силовая микроскопия |
| Аннотация: | Проведены исследования поверхности и электронно-транспортных свойств эпитаксиальных тонких пленок молибдена. Экспериментальные результаты сравнивались c известными квантовыми моделями влияния рельефа поверхности пленок на их сопротивление |
| Поиск: | Источник |
| Электронный документ | Для просмотра необходимо войти в личный кабинет |
4. Статья из журнала
| Анализ эмиссии электронов с одиночного кремниевого катода в квазивакуумную (воздушную) среду методом атомно-силовой микроскопии / И. Д. Евсиков, С. В. Митько, П. Ю. Глаголев [и др.]. - Текст : электронный // ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. - Санкт-Петербург : Наука, 2020. - № 11. - С. 1931- 1937. - URL: http://journals.ioffe.ru/articles/49986 (дата обращения: 25.01.2023). - Режим доступа: свободный. | |
| Авторы: | Евсиков, И. Д., Митько, С. В., Глаголев, П. Ю., Дюжев, Н. А., Демин, Г. Д. |
| Ключевые слова: | Полевая эмиссия, Атомно-силовая микроскопия, Кремниевые полевые нанокатоды, Коэффициент усиления поля |
| Аннотация: | Методом атомно-силовой микроскопии экспериментально рассмотрены особенности полевой эмиссии электронов с одиночного кремниевого катода острийного типа в квазивакуумную (воздушную) среду. В бесконтактном режиме работы атомно-силового микроскопа измерены вольт-амперные характеристики одиночного катода с нанометровым радиусом закругления вершины при расстояниях 10 и 20 nm между вершиной катода и вершиной измерительного зонда. Проведено моделирование распределения электрических полей как на поверхности вершины одиночного катода, так и на поверхности вершин отдельно взятых катодов в составе массива, на основе которого сделана теоретическая оценка фактора усиления электрического поля в зависимости от расстояния "катод-зонд". Показано, что фактор усиления поля, рассчитанный из экспериментальных ВАХ в координатах Фаулера - Нордгейма, на несколько порядков превышает величину, полученную из теоретических расчетов, что указывает на необходимость учета дополнительных квантово-размерных эффектов, играющих важную роль в формировании тока эмиссии электронов в наноразмерном зазоре |
| Поиск: | Источник |
| Электронный документ | Для просмотра необходимо войти в личный кабинет |