МегаПро

Сортировать по:

1. Статья из журнала

Структура, соcтав и свойства кремния, имплантированного ионами цинка и кислорода при повышенной температуре / В. В. Привезенцев, А. П. Сергеев, В. С. Куликаускас [и др.]. - Текст : электронный // ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ. - Санкт-Петербург : Наука, 2020. - № 12. - С. 1376-1382. - URL: http://journals.ioffe.ru/articles/50242 (дата обращения: 17.05.2023). - Режим доступа: свободный.
Авторы:	Привезенцев, В. В. , Сергеев, А. П., Куликаускас, В. С., Киселев, Д. А., Трифонов, А. Ю., Терещенко, А. Н.
Ключевые слова:	Кремниевые подложки, Цинк, Кислород, Горячая имплантация, Наночастицы, ZnO
Аннотация:	Подложки Si, выращенные методом Чохральского (n-тип, ориентация (100)), были подвергнуты двойной имплантации: вначале ионами 64Zn+ с дозой 5·1016 см-2 и энергией 50 кэВ, а затем ионами 16O+ с дозой 2·1017 см-2 и энергией 20 кэВ. Во время имплантации температура подложки поддерживалась ~ 350oC. После имплантации Si-подложка содержит радиационные дефекты и их кластеры: двойники, дислокации, а также нанокластыры (НК), а именно на поверхности и в приповерхностном слое подложки образовались Zn-содержащие НК со средним радиусом 10-50 нм преимущественно из фазы металлического Zn и частично из фазы ZnO. После фотонного отжига до эффективной температуры 700oС, оптимальной для получения фазы ZnO, радиационные дефекты отожглись, а на поверхности образца зафиксированы Zn-содержащие НК, предположительно, состоящие из фазы ZnO и частично из фазы Zn2SiO4 со средним диаметром 50-100 нм
Поиск:	Источник
Электронный документ	Для просмотра необходимо войти в личный кабинет