| Найдено документов - 2 | Статьи из номера журнала: ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. 8. - Санкт-Петербург : ФТИ им. А.Ф. Иоффе, 2022. - Текст : электронный. | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Статья из журнала
| Дедкова, А. А. (Автор МИЭТ). Методика исследования изменения формы пластин и тонкопленочных мембран с использованием геоморфометрических подходов / А. А. Дедкова, И. В. Флоринский, Н. А. Дюжев. - Текст : электронный // ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. - Санкт-Петербург : ФТИ им. А.Ф. Иоффе, 2022. - № 8. - С. 1113-1123. - URL: http://journals.ioffe.ru/articles/52771 (дата обращения: 16.06.2022). - Режим доступа: свободный. | |
| Авторы: | Дедкова, А. А., Флоринский, И. В., Дюжев, Н. А. |
| Ключевые слова: | Тонкие пленки, Мембраны, Дефекты, Механические характеристики, Механические напряжения, Деформация, Прогибы, Микроэлектромеханические системы, МЭМС, Круглые мембраны, Кремниевые подложки, Оптическая профилометрия, Избыточное давление, Геоморфометрия |
| Аннотация: | Рассмотрена методика исследования изменения сложного рельефа и формы структур с использованием подходов геоморфометрии для изучения поверхности пластин и сформированных Bosch-процессом мембран. Проанализированы пластины до и после нанесения слоя SiO(2), мембраны при реализации метода выдувания. Исследование изменения рельефа поверхности проведено по картам водосборной площади и главных кривизн с учетом артефактов аппроксимации экспериментальных данных. Обнаружено соответствие между распределением линий, соединяющих наивысшие области поверхности - до и после нанесения слоя SiO(2) на пластины. На мембранах со структурами Al(0.8 µm)/SiO(2)(0.6 µm)/Al(1.1 µm), pSi(∗) (0.8 µm)/SiN(x) (0.13 µm)/SiO(2), Al(0.6 µm) обнаружено, что особенности границы мембран обусловлены в большей степени их начальной формой, чем изменением под действием приложенной нагрузки. Показаны преимущества методов геоморфометрии для исследования изменения формы пластин и тонкопленочных мембран в технологических процессах производства микроэлектронных приборов по сравнению с традиционными методами анализа карт рельефа поверхности |
| Поиск: | Источник |
| Электронный документ | Для просмотра необходимо войти в личный кабинет |
2. Статья из журнала
| Дедкова, А. А. (Автор МИЭТ). Исследование изменения реальной формы круглых тонкопленочных мембран при реализации метода выдувания / А. А. Дедкова, Н. А. Дюжев. - Текст : электронный // ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. - Санкт-Петербург : ФТИ им. А.Ф. Иоффе, 2022. - № 8. - С. 1253-1260. - URL: http://journals.ioffe.ru/articles/52793 (дата обращения: 16.06.2022). - Режим доступа: свободный. | |
| Авторы: | Дедкова, А. А., Дюжев, Н. А. |
| Ключевые слова: | Тонкие пленки, Мембраны, Механические характеристики, Механические напряжения, Деформация, Прогиб, Микроэлектромеханические системы, МЭМС, Круглые мембраны, Кремниевые подложки, Оптическая профилометрия, Избыточное давление, Метод выдувания |
| Аннотация: | Проведено исследование степени сферичности реальной формы круглых тонкопленочных мембран при ее изменении в процессе реализации метода выдувания. Изучены сформированные Bosch-процессом круглые тонкопленочные мембраны со структурой SiN(x)/SiО(2)/SiN(x)/SiО(2), pSi(∗)/SiN(x)/SiO(2), Al и др. Описана методика, позволяющая определить области отклонения формы поверхности мембраны от сферической, оценить величину и характер распределения радиуса кривизны вдоль диаметра мембраны. Показано, что форма мембран отличается от сферической ближе к области закрепления, а также во многих случаях и к области вершины (центра) мембраны. Также обнаружена тенденция к увеличению радиуса кривизны по мере приближения к центру мембраны |
| Поиск: | Источник |
| Электронный документ | Для просмотра необходимо войти в личный кабинет |