| Найдено документов - 1 | Статьи из номера журнала: ОПТИКА И СПЕКТРОСКОПИЯ. 11. - Санкт-Петербург : ФТИ им. А.Ф. Иоффе, 2022. - Текст : электронный. | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Статья из журнала
| Оптические свойства пиролитического нитрида кремния SiNx, обогащённого кремнием / Т. В. Перевалов, Е. В. Спесивцев, С. В. Рыхлицкий [и др.]. - Текст : электронный // ОПТИКА И СПЕКТРОСКОПИЯ. - Санкт-Петербург : ФТИ им. А.Ф. Иоффе, 2022. - № 11. - С. 1718-1722. - URL: http://journals.ioffe.ru/articles/53779 (дата обращения: 02.11.2022). - Режим доступа: свободный. | |
| Авторы: | Перевалов, Т. В., Спесивцев, Е. В., Рыхлицкий, С. В., Бобовников, П. Г., Красников, Г. Я., Гриценко, В. А. |
| Ключевые слова: | Нитрид кремния, Мемристоры, Коэффициент поглощения, Эллипсометрия, Квантово-химическое моделирование |
| Аннотация: | Нестехиометрический нитрид кремния SiNx, обогащенный кремнием, является перспективным материалом для разработки энергонезависимой мемристорной памяти. В работе изучаются оптические свойства SiNx, синтезированного в реакторе пониженного давления при 800oС при разных соотношения дихлорсилана (SiH2Cl2) к аммиаку (NH3). Установлено, что для пленок, синтезированных при отношении SiH2Cl2/NH3=1/1, 1/2 и 1/3, соответствующие значения ширины запрещённой зоны составляют 3.83, 4.17 и 4.40 eV. При этом соответствующие значения параметра x, найденные по рассчитанной из первых принципов зависимости значения ширины запрещённой зоны SiNx от x, составляют 1.26, 1.30 и 1.32. Таким образом, увеличивая отношение SiH2Cl2/NH3, можно создавать нестехиометрические плёнки SiNx с контролируемой степенью обогащения кремнием при высокой однородности химического состава и толщины |
| Поиск: | Источник |
| Электронный документ | Для просмотра необходимо войти в личный кабинет |