| Найдено документов - 1 | Статьи из номера журнала: ПИСЬМА В ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. 10. - Санкт-Петербург : ФТИ им. А.Ф. Иоффе, 2023. - Текст : электронный. | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Статья из журнала
| Румянцев, А. В. (Автор МИЭТ, Ин-т ФПМ). Моделирование распыления многослойных подложек фокусированным ионным пучком / А. В. Румянцев, Н. И. Боргардт, Р. Л. Волков. - Текст : электронный // ПИСЬМА В ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. - Санкт-Петербург : ФТИ им. А.Ф. Иоффе, 2023. - № 10. - С. 39-42. - URL: http://journals.ioffe.ru/articles/54922 (дата обращения: 22.05.2023). - Режим доступа: свободный. | |
| Авторы: | Румянцев, А. В., Боргардт, Н. И., Волков, Р. Л. |
| Ключевые слова: | Фокусированный ионный пучок, Распыление, Метод функций уровня |
| Аннотация: | Метод функций уровня обобщен для моделирования эволюции поверхности многослойных подложек при воздействии фокусированного ионного пучка. Для корректного описания такого воздействия при проведении расчетов принимались во внимание угловые зависимости коэффициентов распыления, плотности облучаемых материалов и учитывалось, что вылет распыленных атомов может происходить из разных слоев подложки. Сравнением результатов расчетов с экспериментальными данными для тестовых углублений, изготовленных в двухслойной подложке диоксид кремния-кристаллический кремний, показано, что развитый метод моделирования позволяет с хорошей точностью предсказывать форму структур, создаваемых фокусированным ионным пучком |
| Поиск: | Источник |
| Электронный документ | Для просмотра необходимо войти в личный кабинет |