| Найдено документов - 2 | Статьи из номера журнала: ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. 7. - Санкт-Петербург : ФТИ им. А.Ф. Иоффе, 2023. - Текст : электронный. | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Статья из журнала
| Особенности трансформации микрорельефа структур "кремний на изоляторе" при воздействии фотонных и корпускулярных излучений / Б. А. Логинов, Д. Ю. Блинников, В. С. Второва [и др.]. - Текст : электронный // ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. - Санкт-Петербург : ФТИ им. А.Ф. Иоффе, 2023. - № 7. - С. 1025. - URL: http://journals.ioffe.ru/articles/55764 (дата обращения: 14.11.2023). - Режим доступа: свободный. | |
| Авторы: | Логинов, Б. А., Блинников, Д. Ю., Второва, В. С., Кириллова, В. В., Ляшко, Е. А., Макеев, В. С., Первых, А. Р., Абросимова, Н. Д., Забавичев, И. Ю., Пузанов, А. С., Волкова, Е. В., Тарасова, Е. А., Оболенский, С. В. |
| Ключевые слова: | Атомно-силовая микроскопия, Кремний на изоляторе, Допороговое дефектообразование, Кластеры радиационных дефектов |
| Аннотация: | Приведены результаты исследований параметров микрорельефа и электрофизических характеристик структур "кремний на изоляторе" после воздействия гамма- и гамма-нейтронного излучения. Экспериментальные исследования проведены методами атомно-силовой микроскопии и псевдо-МДП транзистора. На основе полученных данных проведена оценка эффективного радиуса ядер кластеров радиационных дефектов |
| Поиск: | Источник |
| Электронный документ | Для просмотра необходимо войти в личный кабинет |
2. Статья из журнала
| Дедкова, А. А. (Автор МИЭТ). Использование морфометрических величин при изучении рельефа поверхности рентгенооптических элементов / А. А. Дедкова, И. В. Флоринский, А. К. Чернышев. - Текст : электронный // ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. - Санкт-Петербург : ФТИ им. А.Ф. Иоффе, 2023. - № 7. - С. 1059. - URL: http://journals.ioffe.ru/articles/55770 (дата обращения: 14.11.2023). - Режим доступа: свободный. | |
| Авторы: | Дедкова, А. А., Флоринский, И. В., Чернышев, А. К. |
| Ключевые слова: | Поверхности, Рельефы, Цифровые модели рельефа, ЦМР, Многоуровневый анализ, Формообразование, Асферизация, Интерферометрия, Рентгеновская оптика, Многослойные интерференционные зеркала, Кривизна, Морфометрические величины, Геоморфометрия, Дефекты, Артефакт измерений |
| Аннотация: | Рассмотрено применение морфометрических величин (кривизны максимальной, минимальной, средней, топографического индекса и др.) при исследовании поверхности рентгенооптических элементов. Расчеты проведены на цифровых моделях рельефа сферических вогнутых подложек: изначальных и сглаженных цифровых моделях рельефа, до и после технологических обработок (механического притира, осесимметричной обработки, локальной обработки). Продемонстрирована наглядная визуализация слабовыраженных неоднородностей, в том числе не отображаемых на картах исходных цифровых моделей рельефа. Рассмотрение включало изучение как исследуемых образцов, так и погрешностей формирования цифровых моделей рельефа (артефактов от регистрирующей системы и от неоднородности среды), а также особенности масштабной декомпозиции при использовании универсального спектрально-аналитического метода |
| Поиск: | Источник |
| Электронный документ | Для просмотра необходимо войти в личный кабинет |