МегаПро

Сортировать по:

1. Статья из журнала

Особенности влияния ориентации и размера зерен на механические свойства тонкопленочных мембран Al/Mo / Н. А. Дюжев, Е. Э. Гусев, И. В. Кушнарев [и др.]. - Текст : электронный // ПИСЬМА В ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. - Санкт-Петербург : ФТИ им. А.Ф. Иоффе, 2024. - № 9. - С. 10-15. - URL: https://journals.ioffe.ru/articles/57561 (дата обращения: 18.04.2024). - Режим доступа: свободный.
Авторы:	Дюжев, Н. А., Гусев, Е. Э., Кушнарев, И. В., Махиборода, М. А., Доброхотов, Д. А., Беспалов, В. А.
Ключевые слова:	Размер зерен, Механические свойства, Тонкие пленки
Аннотация:	Впервые изложена идея влияния ориентации и размера зерен на механические свойства тонкопленочных мембран. Апробация осуществлена на примере тонкопленочных материалов Al/Mo на Si- пластине с использованием метода выдувания. Экспериментально подтверждено, что горизонтальный размер зерен Mo изменяется в диапазоне от 27 до 67 nm, размер зерен Al варьируется от 166 до 502 nm, зерна ориентированы во взаимно перпендикулярном направлении. Вертикальный размер зерен совпадает с толщиной пленки при толщинах до 1130 nm для Mo и при толщинах до 1000 nm для Al. При варьировании последовательности осаждения слоев Al и Mo достигается увеличение критического давления разрыва и двухосного модуля упругости более чем на 50%. В частности, для мембраны диаметром 0.5 mm критическое давление разрыва увеличилось от 3.32 до 5.77 atm, а двухосный модуль упругости - от 400 до 691 GPa. Критическое давление значительно возрастает при использовании пленок с большими зернами, ориентированных перпендикулярно направлению нагрузки
Поиск:	Источник
Электронный документ	Для просмотра необходимо войти в личный кабинет