Сортировать по:
1. Статья из журнала
Новак, А. В. (Автор МИЭТ).
Износ острия зонда в зависимости от режима взаимодействия с поверхностью образца при работе в режиме амплитудно-модуляционной атомно-силовой микроскопии / А. В. Новак, В. Р. Новак, А. В. Румянцев. - Текст : электронный
// ПИСЬМА В ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. - Санкт-Петербург : ФТИ им. А.Ф. Иоффе, 2024. - № 15. - С. 25-29. - URL: https://journals.ioffe.ru/articles/58436 (дата обращения: 17.09.2024). - Режим доступа: свободный.
Авторы:Новак, А. В., Новак, В. Р., Румянцев, А. В.
Ключевые слова:Амплитудно-модуляционная атомно-силовая микроскопия, Износ острия зонда, Режим сил притяжения, Режим сил отталкивания, Энергия диссипации
Аннотация:Изучена зависимость износа острия зонда от режима силового взаимодействия с поверхностью образца при работе в режиме амплитудно-модуляционной атомно-силовой микроскопии. Найдено, что в режиме сил притяжения износ острия является незначительным в отличие от режима сил отталкивания. После десяти сканов жесткой и шероховатой поверхности пленок поликремния с полусферическими зернами (HSG-Si) в режиме притяжения радиус острия увеличился с 3 до 4 nm, а в режиме отталкивания - с 4 до 20 nm. Сделана оценка величины энергии диссипации за один период колебаний, которая составляла 2.1 eV в режиме притяжения и 98 eV в режиме отталкивания
Поиск:Источник
Электронный документДля просмотра необходимо войти в личный кабинет