| Найдено документов - 1 | Статьи из номера журнала: ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. 7. - Санкт-Петербург : ФТИ им. А.Ф. Иоффе, 2024. - Текст : электронный. | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Статья из журнала
| Особенности формирования изображения в составных преломляющих линзах в мягком рентгеновском диапазоне длин волн / П. Ю. Глаголев, Г. Д. Демин, В. И. Корнеев, Н. А. Дюжев. - Текст : электронный // ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. - Санкт-Петербург : ФТИ им. А.Ф. Иоффе, 2024. - № 7. - С. 1182-1195. - URL: http://journals.ioffe.ru/articles/58355 (дата обращения: 17.09.2024). - Режим доступа: свободный. | |
| Авторы: | Глаголев, П. Ю., Демин, Г. Д., Корнеев, В. И., Дюжев, Н. А. |
| Ключевые слова: | Рентгеновская нанолитография, Рентгеновское излучение, Составная преломляющая линза, Киноформные линзы, Разрешающая способность, Числовая апертура |
| Аннотация: | Обсуждена возможность использования составных преломляющих линз в качестве элементов рентгеновской оптики, предназначенных для формирования изображения на рентгенорезисте в мягком рентгеновском диапазоне длин волн. Для этой цели проведено математическое моделирование преобразования волнового фронта при его прохождении через рассматриваемую оптическую систему. Рассчитано распределение интенсивности волнового фронта рентгеновского излучения с длиной волны от 2 до 14 nm на входе/выходе составной преломляющей линзы и в плоскости подложки с рентгенорезистом. Рассмотрены перспективные материалы (Si, Be, алмаз) составной преломляющей линзы, обладающие высокой прозрачностью в выбранном диапазоне длин волн. Показано, что переход к дифракционным и киноформным линзам минимизирует степень поглощения рентгеновского излучения в выбранном материале линзы на несколько порядков, что позволяет увеличить разрешающую способность вплоть до 14 nm |
| Поиск: | Источник |
| Электронный документ | Для просмотра необходимо войти в личный кабинет |