| Найдено документов - 1 | Статьи из номера журнала: ПИСЬМА В ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. 2. - Санкт-Петербург : ФТИ им. А.Ф. Иоффе, 2025. - Текст : электронный. | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Статья из журнала
| Влияние термической обработки на физико-механические свойства тонкопленочных мембранных Al-структур различной формы / Н. А. Дюжев, Е. Э. Гусев, И. В. Кушнарев, В. А. Беспалов. - Текст : электронный // ПИСЬМА В ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. - Санкт-Петербург : ФТИ им. А.Ф. Иоффе, 2025. - № 2. - С. 10-14. - URL: https://journals.ioffe.ru/articles/59549 (дата обращения: 19.08.2025). - Режим доступа: свободный. | |
| Авторы: | Дюжев, Н. А., Гусев, Е. Э., Кушнарев, И. В., Беспалов, В. А. |
| Ключевые слова: | Механические свойства, Размер зерен, Тонкие пленки, Мембраны |
| Аннотация: | Впервые реализован и объяснен подход к модификации механических свойств за счет термических процессов рекристаллизации тонкопленочных структур алюминия в виде мембран квадратной, пятиугольной и круглой формы, полученных методом магнетронного осаждения. Эксперимент осуществлен по планарной кремниевой технологии. После термообработки при 450oC в течение 1 h в вакуумной атмосфере выявлено изменение механических свойств (например, для мембраны круглой формы критическое давление разрыва уменьшилось от 4.9 до 4.0 atm, среднее изменение величины критического давления разрыва уменьшилось от ± 1.5 до ± 0.9 atm, двухосный модуль упругости уменьшился на 24 GPa) за счет изменения структурных свойств материала (размер зерен увеличился почти в 2 раза, шероховатость увеличилась с 76± 4 до 4480± 90 nm). Дополнительная термообработка позволила создать более надежные Al-мембраны |
| Поиск: | Источник |
| Электронный документ | Для просмотра необходимо войти в личный кабинет |