| Найдено документов - 1 | Статьи из номера журнала: ЖУРНАЛ НЕОРГАНИЧЕСКОЙ ХИМИИ. 11. - Москва : ИКЦ Академкнига, 2025. - Текст : электронный. | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Статья из журнала
| Молекулярное наслаивание алюминий-молибденовых оксидных пленок с использованием триметилалюминия и диоксидихлорида молибдена / А. М. Максумова, И. С. Бодалев, С. С. Етмишева [и др.]. - Текст : электронный // ЖУРНАЛ НЕОРГАНИЧЕСКОЙ ХИМИИ. - Москва : ИКЦ Академкнига, 2025. - № 11. - С. 1646-1657. - URL: https://journals.rcsi.science/0044-457X/article/view/378193/350954 (дата обращения: 11.02.2026). - Режим доступа: свободный. | |
| Авторы: | Максумова, А. М., Бодалев, И. С., Етмишева, С. С. , Королева, А. В., Штанчаева, М. Г., Абдулагатов, И. М., Рабаданов, М. Х., Логинова, А. С., Логинов, Б. А., Абдулагатов, А. И. |
| Ключевые слова: | Молекулярное наслаивание, Тонкие пленки, ATOMIC LAYER DEPOSITION, THIN FILMS |
| Аннотация: | Представлена программа молекулярного наслаивания (MH) алюминий-молибденовых оксидных (Al,Mo,O) пленок, основанная на циклических реакциях паров триметилалюминия (TMA) и диоксидихлорида молибдена (MoO2Cl2). Исследовано влияние добавления напуска паров воды в цикл MH (TMA-H2O-MoO2Cl2). Процесс роста пленок изучали in situ методом кварцевого пьезоэлектрического микровзвешивания (КПМ). Установлено, что при температуре MH 180°C для процессов TMA-MoO2Cl2 и TMA-H2O-MoO2Cl2 наблюдается линейный рост с постоянной роста 3.79 и 3.94 Å/цикл соответственно. Согласно данным методов отражения и дифракции рентгеновских лучей (ОПЛ и ДПЛ), полученные пленки имели аморфную структуру с плотностью ∼3.7 г/см3 и среднеквадратичную шероховатость в пределах 10-12 Å. Оба типа полученных пленок имели схожий состав. В полученных пленках содержался Mo+6, Mo+5 и Mo+4 |
| Поиск: | Источник |
| Электронный документ | Для просмотра необходимо войти в личный кабинет |