| Найдено документов - 1 | Источник: Исследование процессов формирования и стабильности фазосдвигающих слоев на основе Mo-Si и Ta-Si для фотошаблонов под воздействием глубокого ультрафиолетового излучения с длиной волны 248 нм / А.... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
| ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. ЭЛЕКТРОНИКА. 5. - Москва : МИЭТ, 2025. - URL: https://elib.miet.ru (дата обращения: 20.11.2025). - Режим доступа: для зарегистрированных читателей библиотеки МИЭТ. - Текст : электронный : непосредственный. | |
| Аннотация: | Настоящий номер журнала подготовлен к 60-летию МИЭТ. Журнал предоставил свои страницы специалистам МИЭТ и нашим коллегам – ученым в области электронной техники – из других вузов и организаций. В работах охвачен широкий спектр научно-технических задач, решаемых в различных направлениях развития электроники |
| Экземпляры: | Всего: 1, из них: чз(Архив)-1 |
| Поиск: | Статьи из номера журнала (сборника) Источник |
| Электронный документ | Для просмотра необходимо войти в личный кабинет |