| Найдено документов - 1 | Источник: Исследование влияния атомарного состава на скорость плазмохимического травления нитрида кремния в силовых транзисторах на основе AlGaN/GaN-гетероперехода / В. И. Гармаш, В. Е. Земляков, В. И. Ег... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
| ФИЗИКА И ТЕХНИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ. 8. - Санкт-Петербург : Наука, 2020. - Текст : электронный. | |
| Поиск: | Статьи из номера журнала (сборника) Источник |