| Найдено документов - 1 | Источник: Исследование ионной имплантации азота через слой нитрида кремния для межприборной изоляции силовых GaN/Si-транзисторов / В. И. Егоркин, С. В. Оболенский, В. Е. Земляков [и др.]. - Текст : электр... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
| ПИСЬМА В ЖУРНАЛ ТЕХНИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ. 18. - Санкт-Петербург : Наука, 2021. - Текст : электронный. | |
| Поиск: | Статьи из номера журнала (сборника) Источник |