| Найдено документов - 1 | Источник: Опыт коррекции эффектов близости при формировании изображения топологического рисунка ИС на фотошаблоне методом электронной литографии / А. Н. Беленков, В. А. Овчинников, С. И. Морозов, Н. С. Хр... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
| ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА. Серия 3. МИКРОЭЛЕКТРОНИКА. 2(186). - Москва : НИИМЭ, 2022. - Текст : электронный. | |
| Поиск: | Статьи из номера журнала (сборника) Источник |