| Найдено документов - 1 | Источник: Опыт проектирования дизайна и изготовления сложных прецизионных фотошаблонов с элементами компенсации оптической близости ОРС (optical proximity correction) / А. Н. Беленков, В. А. Овчинников, С... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
| ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА. Серия 3. МИКРОЭЛЕКТРОНИКА. 3(187). - Москва : НИИМЭ, 2022. - Текст : электронный. | |
| Поиск: | Статьи из номера журнала (сборника) Источник |