| Найдено документов - 1 | Источник: Вакуумная установка с электронно-лучевым испарителем и шлюзовой загрузкой групповых подложкодержателей = Vacuum unit with electron-beam evaporator and vacuum loading of group substrate holders /... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
| ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА. Серия 3. МИКРОЭЛЕКТРОНИКА. 4(188). - Москва : НИИМЭ, 2022. - Текст : электронный. | |
| Поиск: | Статьи из номера журнала (сборника) Источник |